Der niederländische Chipmaschinen-Hersteller ASML kann die Nachfrage nach seinen Geräten derzeit zu gerade drei Fünfteln decken.

"Momentan können wir nur ungefähr 60 Prozent dessen, was nachgefragt wird, tatsächlich liefern",  sagte ASML-Finanzvorstand Roger Dassen im Gespräch mit der Frankfurter Allgemeinen Zeitung am Konzernsitz Veldhoven bei Eindhoven.  Aufträge für 29 Milliarden Euro standen Ende des ersten Quartals in den Büchern, und der Ordereingang im laufenden Quartal sei "sehr, sehr stark", sagt der Manager.  
 
ASML stellt die Maschinen her, mit denen Produzenten wie Intel und TSMC ihre Chips fertigen. Die frühere Philips-Tochtergesellschaft ist im Eurozonen-Leitindex Euro Stoxx 50   zur zweitteuersten Gesellschaft hinter dem französischen Luxuskonzern LVMH aufgestiegen,  mit gegenwärtig  230 Milliarden Euro Marktwert.  
 
Kunden sind für ASMLs Maschinen der neuesten Generation -  Geräte mit EUV-Technik (Extrem ultraviolettes Licht) zum Preis um die 160 Millionen Euro je Stück  – Lieferzeiten von 18 Monate gewohnt, schon wegen der langen Bauzeit. Aber auch auf bestimmte einfachere Maschinen warten sie jetzt ein bis zwei Jahre.  
 
Zum einen ist die Nachfrage enorm gestiegen, unter anderem wegen der rapiden Digitalisierung zuvor analoger Technik.  Zum anderen sind die Lieferketten auch für ASML angespannt.  Neue Halbleiterfabriken entstehen - wie Intels geplanter Standort in Magdeburg. "Das wird eine Fabrik mit Spitzentechnologie; das bedeutet, dass faktisch alle Typen Maschinen, die wir haben, geliefert werden dürften" sagte Dassen.  Intel will in Magdeburg von 2027 an produzieren, davor kommen die üblichen Probeläufe. "Ich denke, 2025, 2026 werden da die ersten Maschinen stehen."
 
ASML lotet Wege aus, die Kapazität auszubauen. 2025 wolle das Unternehmen in der Lage sein, 600 DUV-Maschinen und 90 EUV-Maschinen auszuliefern - gegenüber 300 beziehungsweise 55 in diesem Jahr, sagte Dassen. Dazu kämen "mittelfristig" 20 Exemplare der High-NA-Version. Auch die Lieferanten sollen eine Schippe drauflegen. "Wir arbeiten sehr intensiv, um zu schauen, was sie tun können, um ihre Kapazitäten auszuweiten." Vor vier Wochen gab es einen "Zulieferer-Tag" in Veldhoven; etwa 100 bis 150 Repräsentanten fanden sich ein. Ein "Shortage Center" ergründet Ursachen von Engpässen. ASML selbst beschleunigt neuerdings seine Auslieferungen um vier Wochen, indem man die letzten Tests straffer sowie beim Kunden statt in Veldhoven ausführt. Weitaus wichtigste deutsche Zulieferer sind Zeiss mit seinen Spiegeln und Linsen und Trumpf, von wo Laser kommen.